Caracteristicile senzorilor de presiune din siliciu difuz

În comparație cu senzorii de alte principii, senzorii de presiune cu siliciu difuz au următoarele caracteristici:

1. Potrivit pentru realizarea de senzori cu rază mică. Efectul piezoresistiv al rezistenței sensibile la forță al cipului de siliciu nu are o zonă moartă în intervalul scăzut aproape de zero, iar intervalul senzorului de presiune poate fi la fel de mic ca câțiva Kpa.

2. Sensibilitate mare de ieșire. Factorul de sensibilitate al rezistenței la deformarea siliciului este de 50-100 ori mai mare decât cel al tensiometrului metalic, astfel încât sensibilitatea senzorului corespunzător este foarte mare, iar ieșirea în intervalul general este de aproximativ 100 mv. Prin urmare, nu există o cerință specială pentru circuitul de interfață și este mai convenabil de utilizat.

3. Precizie ridicată. Deoarece detectarea, conversia sensibilă și detectarea senzorului sunt realizate de aceeași componentă, nu există o legătură de conversie intermediară, iar erorile de repetabilitate și histerezis sunt mici. Deoarece siliciul monocristalin în sine are o rigiditate mare și o deformare mică, este garantată o bună liniaritate.

4. Datorită deformării reduse a piesei de lucru unitare la ordinul micro-deformarii, deplasarea maximă a așchiului elastic este de ordinul sub-micronului, deci nu există uzură, oboseală, îmbătrânire și serviciu durata de viață este de 1×103 cicluri de presiune, cu performanță stabilă și fiabilitate ridicată.

5. Datorită performanței chimice anticoroziune excelente a siliciului, chiar și senzorii de presiune din siliciu difuz neizolați au un grad considerabil de capacitate de a se adapta la diverse medii.

6. Deoarece cipul adoptă tehnologia integrată și nu are piese de transmisie, este mic ca dimensiune și ușor în greutate.

Orice întrebare despre noastreUPB1transmițător de presiune din silicon, vă rugăm să contactațiStella Meng.