Caracteristicile senzorilor de presiune din silicon difuz

Caracteristicile senzorului de presiune din silicon difuzUPX19

1. Este potrivit pentru realizarea de transmițătoare la scară mică: efectul piezoresistiv al rezistenței sensibile la forță a cipului de siliciu nu are o zonă moartă în secțiunea joasă din apropierea punctului zero, iar intervalul senzorului de presiune poate fi la fel de mic ca mai multi Kpa.

2. Sensibilitate ridicată la ieșire: factorul de sensibilitate al rezistenței la deformarea siliciului este de 50 până la 100 de ori mai mare decât cel al tensometrelor metalice, astfel încât sensibilitatea senzorului corespunzător este foarte mare, iar ieșirea în intervalul general este de aproximativ 100 mv. Prin urmare, nu există cerințe speciale pentru circuitul de interfață și este mai convenabil de utilizat.

3. Precizie ridicată: Deoarece sentimentul senzorului, conversia sensibilă și detectarea sunt realizate de aceeași componentă, nu există o legătură de conversie intermediară, iar repetabilitatea și eroarea de histerezis sunt mici. Deoarece siliciul monocristalin în sine este foarte rigid și deformarea este mică, se asigură o bună liniaritate.

4. Deoarece deformarea unisexuală a lucrării este la fel de scăzută ca ordinul micro-deformarii, deplasarea maximă a așchiului elastic este de ordinul sub-micronului, astfel încât nu există uzură, oboseală, îmbătrânire și durata de viață este de până la 1×103 ciclu de presiune, cu performanță stabilă și fiabilitate ridicată.

5. Datorită rezistenței excelente la coroziune chimică a siliciului, chiar și senzorii de presiune din siliciu difuz neizolați au capacitatea de a se adapta la diverse medii într-o măsură considerabilă.

6. Deoarece cipul adoptă un proces integrat și nu are piese de transmisie, este mic ca dimensiune și ușor în greutate.

Pentru detalii, vă rugăm să contactațiStella Meng.